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最新消息，在3月26日至28日的中国国际半导体展上，新凯来携数十款自主研发的半导体设备重磅发布，引发了行业高度关注。
2021年之前，半导体工艺和量检测装备基本都以国外为主，尤其是量检测装备国产化率不足3%，成为制约国内半导体发展的关键瓶颈。
早期国内半导体制造企业只能依赖于国外厂商提供高端量检测装备，在半导体装备的可获得性上陆续受限后，不仅装备本身，连运维都成为了难题。
而新凯来作为国内半导体设备领域的新兴力量，3年来不断发力，攻克了我国半导体量检测装备“卡脖子”难题，完成了13类关键产品的开发，实现了核心零部件100%国产化，并开始量产应用。
这项重大突破，将为我国半导体产业健康发展带来新的改变。
本期我们将梳理出处于核心产业链以及技术配套的6家核心龙头企业，它们受益于国产化加速替代，有望迎来进一步发展空间。
一、核心产业链
第一家：至纯科技（603690）
合作领域：提供半导体清洗设备，2021年获得新凯来3000万元采购订单，涉及量检测环节的晶圆清洗与表面处理。
技术优势：单片式清洗机已进入3D NAND产线，湿法清洗设备订单同比增长300%。
第二家：奥普光电（002338）
合作领域：与新凯来合资成立长光集智，专注于深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光栅系统研发，覆盖光学量检测核心模块。
技术突破：光刻机双工件台定位精度达1.2nm，极紫外光栅系统精度达0.1nm级。
第三家：新莱应材（300260）
合作领域：为新凯来提供RTP（快速热退火）、DPN（直接等离子氮化）设备的超高洁净管路系统及真空阀门等核心组件，2024年三季度订单金额达8000万元。
技术突破：半导体级管路系统的加工精度达到微米级，满足3纳米及以下先进制程设备的严苛洁净度要求。
第四家：****
合作领域：子公司与新凯来在半导体材料领域协同，涉及异方性导电胶膜等检测配套材料。
资本背景：获华为旗下哈勃投资入股，强化技术合作。
二、技术配套企业
第一家：冠石科技（605588）
合作领域：提供掩膜版技术，支持新凯来SAQP（自对准四重图形）多次曝光工艺，与量检测设备中的图形缺陷检测环节关联紧密。
第二家：国林科技（300786）
合作领域：覆盖光刻机/胶设备清洗环节，臭氧发生器浓度突破200mg/L，提升晶圆清洗效率40%，与新凯来先进制程设备形成配套。
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发表于 2025-4-3 10:37:38