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发表于 2021-11-5 09:23:12 |只看该作者 |倒序浏览
在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。

图片1.png


建模任务
图片2.png
结果
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结果
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结果
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像是由不同衍射级次的干涉形成的,从输入光场到像平面的整个系统的仿真只需要小于10秒。
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