田思奇 甲子光年
荷兰埃因霍温是一座只有20多万人口的小城市,知名度主要来自和城市同名的荷甲足球队。但这里也常年上演着科技与政治交织的戏码。
4月22日,全球最大光刻机制造商——荷兰阿斯麦公司(ASML)宣布在紧邻其大本营威尔霍温的埃因霍温地区签署意向书,计划在埃因霍温北部机场附近一个相对欠发达的地区探索扩建,预计将容纳20000名新员工。
这意味着,持续一个多月的“阿斯麦出走荷兰”的传言,正式走向落幕。
得益于阿斯麦在光刻机市场的主导地位,市值3500亿美元的它是荷兰商界的骄傲,也是欧洲最大的科技公司之一。然而,随着荷兰营商基础设施老化以及政府的反移民政策升温,拥有大量外籍人才的阿斯麦,在荷兰的未来变得扑朔迷离。
有人揣测,阿斯麦的下一站会是4月24日刚上任的新CEO克里斯托弗·富凯(Christophe Fouquet)的老家——法国;还有人相信,反正阿斯麦要依靠德国蔡司(ZEISS)的技术,去德国也是不错的主意。
另一方面,美国也在步步紧逼,不断要求阿斯麦削弱与最大客户——中国的联系。先是禁止出口最高端的极紫外(EUV)光刻机,然后又将触手伸向次一级的深紫外(DUV)光刻机的部分型号。2024年4月路透社报道称,美国还希望阿斯麦停止在中国为一些工具设备提供维护服务。这也让阿斯麦的出走风波在中国引起极高的关注度,甚至有网友喊话:“来中国吧!”
但《光刻巨人:ASML的崛起之路》一书的作者,荷兰科技作家瑞尼·雷吉梅克(René Raaijmakers)对「甲子光年」坦言:“阿斯麦是一家欧洲公司,但它同样可以被视为一家美国公司。荷兰政府假装对阿斯麦有控制权,但美国人总是有最后的发言权。”
“(阿斯麦)搬到中国?美国人永远不会允许这种情况发生。” 雷吉梅克说。
1.“贝多芬行动”
阿斯麦是制造先进芯片不可或缺的设备供应商。按销售额计算,该公司光刻机市场占有率超过80%,在最尖端的极紫外(EUV)光刻机市场上,阿斯麦占有率为100%。
台积电、三星和英特尔这三大晶圆厂巨头,都要依赖阿斯麦的EUV光刻机来生产制程7nm以下的旗舰产品。该系统售价约为1.8亿美元,并且需要多架飞机来运输。而2023年12月最新向英特尔交付的首台High NA(高数值孔径)EUV光刻机,售价高达3.8亿美元。
光刻机设备市场占有率,图片来源:Khaveen Investments
以风车和郁金香闻名的荷兰,一直是乐于张开双臂拥抱外国人才的欧盟国家。得益于此,阿斯麦也吸引了来自世界各地的人才。它在荷兰本地拥有23000名员工,其中超过40%是没有荷兰国籍的外国雇员。然而在取消外国人税收补贴,减少外国留学生数量的右翼政策预期下,阿斯麦的人才招聘或陷入困境,这也成为阿斯麦出走风波的直接原因。
领导阿斯麦十年,最近刚刚卸任的CEO彼得·温尼克(Peter Wennink)在2024年3月初通过《卫报》宣布:只有拥有足够多合格的人才,我们才能发展这家公司。我们更愿意在(荷兰)这里这样做,但如果我们无法在这里找到这些人,我们就将这些人引到别的地方,去东欧、亚洲或美国。”
以这番言论为基础,外界的揣测呼啸而来。美国和中国出现在潜在名单中,但其他欧盟国家的可能性要大得多。
然而由于这些欧盟国家缺乏供应商、客户群较小且成本较高,搬迁是不切实际的。雷吉梅克指出:“阿斯麦从未有过在另一个国家设立办事处的战略需求,也从未威胁要这样做。”
但雷吉梅克认为,阿斯麦确实寻求荷兰境外开展业务,这主要由成本驱动。它可能会在供应商处完成更多加工,或者把组装转移到亚洲。一些阿斯麦的供应商(如Neways、KMWE和VDL ETG)已在马来西亚或越南开展业务,因此他预计阿斯麦最终也会在亚洲生产更便宜的机器。
尽管如此,荷兰政府依旧流露出“焦急的神态”。多个政府部门联合发起价值27亿美元的“贝多芬行动”,投入到埃因霍温地区的基础设施改善中,试图挽留阿斯麦。
看起来,这场政府为了表现自己重视科技行业而诞生的特别行动,目前已经起到了应有的作用。
这已经不是荷兰第一次要失去跨国巨头了。
2020年,消费品巨头联合利华把长期维持的英国&荷兰双总部的架构改为把总部统一设在英国伦敦;2021年,壳牌石油也决定把公司总部从荷兰迁往伦敦,还把“荷兰皇家”的字样从公司名称中拿掉了。
据悉,壳牌前往英国的表面原因是不满荷兰的环保政策以及为了简化公司架构,但英国《金融时报》认为,壳牌也看中了英国经济的前景,希望给予股东更丰厚的回报。
阿斯麦离开荷兰的传闻,背后或许也有另一层考量。
2.中美之间
在广为流传的说法中,阿斯麦潜在的搬迁,是为了摆脱美国下达的出口限制令。
从2019年起,阿斯麦最高端的EUV光刻机就再难销往中国。2023年3月,在美国长期的压力下,荷兰正式加入美国在半导体行业对中国的限制行列。当年9月1日,荷兰《半导体设备出口管制新规》生效。
除陆续发送既有订单外,自2024年1月1日起,阿斯麦基本不会再获得面向中国客户的高端产品出口许可,这包括EUV光刻机,也包括DUV光刻机中NXT:2000i及以上的型号。
为了应对这些威胁,许多中国厂商曾在2023年三、四季度囤货,但这些订单也将逐步耗尽。预计出口限制将使阿斯麦在2024年对中国的总销售额减少10%至15%。
面对这一局面,搬到其他欧盟国家的好处也就逐步浮现:去了法国或德国后,欧盟对待美国施加的阿斯麦出口限制就要承担更大的责任和话语权。
刚离任的温尼克曾在今年1月呼吁称,欧盟应该统一出口管制标准,而不是按成员国数量维持27种标准。这样更有可能保护像阿斯麦这样的欧洲公司免受美国左右。
领导阿斯麦十年的CEO温尼克(右一)与新任CEO富凯(右二) 来源:阿斯麦
欧洲科技媒体Bits&Chips还认为,作为阿斯麦的第二位法国CEO,富凯的国籍也会带来额外的好处。虽然他可能与荷兰政府打交道时不够顺畅,但“他的法国血统可能会在地缘政治风暴继续肆虐的国际舞台上有所帮助”。
“法国象征着一个自豪的欧洲,因此在遏制美国的干涉,例如出口限制时,新任阿斯麦CEO肯定能发现法国总统站在他这一边,”该媒体写到。
但荷兰地缘政治专家弗朗斯-保罗·范德博登(Frans-Paul van der Putten)博士对「甲子光年」表示,阿斯麦希望与供应商保持密切联系,意味着它更愿意把主要业务留在荷兰。德国蔡司是主要供应商之一,但荷兰也有一个庞大的供应商网络。与蔡司或任何其他外国供应商的距离越近,自然也会与荷兰供应商的距离就越远。
“在国际上影响最大的两个欧盟国家是德国和法国。从理论上讲,为了在欧盟层面实现共同的所有权,一家欧洲公司需要拥有法德的‘双重国籍’,理想情况下还需要把主要业务铺到欧盟所有地区。但在实践中这几乎是不可行的。考虑到法德之间的经济竞争,和留在其他欧盟国家相比,仅仅成为一家德国公司或者法国公司,不一定能在欧盟层面获得更多集体政治保护。” 范德博登指出。
芯谋研究的研究总监张彬磊也对「甲子光年」表示,阿斯麦把总部迁往其他国家,或者新建工厂,一方面会有成本考虑,但这不是最主要的。它更多地是想给荷兰政府施压,希望政府提供更多庇护。然而荷兰政府在欧洲相对弱势,缺乏独立性。美国可能会在出口限制上不断加码,甚至未来可能要求所有的浸润式光刻机都不准买给中国。
“阿斯麦希望通过(提出搬迁总部)的方式给荷兰政府一些压力,至少保证所有DUV设备可以继续开放给中国市场,”张彬磊说道,“但假设真的迁往德国和法国,也未必达到这样的效果。虽然德国和法国话语权较强,但在很多战略的考量上,他们和美国也站在一条船上,所以(出走)只是给政府施压的一个表现。”
事实上,从飞利浦附属的一个小公司到如今遥遥领先的光刻巨头,阿斯麦40年的崛起之路上,美国一直扮演着最重要的角色。
3.不只是荷兰人的机器?
1984年,荷兰埃因霍温另一电子巨头飞利浦,和刚刚从代理商转型为制造商的半导体设备公司ASM International共同出资成立了阿斯麦。
在飞利浦大厦外的简易木板房里,31名员工开始了他们的创业之旅。他们面对的是由尼康和佳能等巨头主导的市场,以及一个充满不确定性的未来。
阿斯麦最早的板房办公室,图片来源:阿斯麦
2000年代初,阿斯麦面临了一个关键的抉择:是继续沿着干式光刻技术的路线发展,还是转向由曾任台积电研发副经理的林本坚发明的浸润式光刻技术。经过深思熟虑后,阿斯麦选择了更具创新性的后者,其在光刻机市场的份额迅速攀升,最终超越尼康,成为行业的领导者。
但不是选择了某一技术路线就能确保获得成功。
张彬磊强调:“阿斯麦之所以在光刻机赛道上脱颖而出,是因为选择了浸润式光刻机,但这也要依靠英特尔,台积电、三星这几个晶圆厂选择他们的设备。那为什么这些厂不支持日本公司呢?其实是在美国打压尼康等日本厂商的授意下,各大晶圆厂积极拥抱浸润式光刻机,这才帮助阿斯麦形成了垄断地位。”
而在EUV光刻技术的发展史上,1997年至关重要。那一年,英特尔与美国政府携手,共同创建了“EUV LLC”这一组织,旨在推动极紫外光刻技术的研究。同时英特尔认为,阿斯麦和尼康在光刻领域拥有宝贵的经验,应该成为该组织的一员。但白宫方面对外国公司的参与心存顾虑。
面对这一机遇,阿斯麦向美国提出承诺:愿意在美国投资建厂和研发中心,并保证55%原材料将从美国采购,以此换取参与EUV技术研究的机会。这一策略成功地使阿斯麦成为了EUV LLC中唯一的两家非美国公司之一,而另一家则是德国的英飞凌公司。
与此同时,尼康则因为“可能把技术带到日本”而被排除在外。
在随后的六年中,EUV LLC的研究人员发表了大量论文,推动了EUV技术的发展。2003年后,成员们开始独立进行研发工作。阿斯麦在欧洲继续领导EUV技术的研发,直到2010年,阿斯麦成功交付其首台EUV光刻机。
“近年来更新的一代代EUV设备,也不可能依靠阿斯麦独立研发,” 张彬磊指出。“阿斯麦需要持续和晶圆厂在产线上打磨,样机出来以后就送到晶圆厂优化,这些客户也都是阿斯麦公司的大股东。”
2009年,坐落于美国圣地亚哥的Cymer公司开发出了EUV技术所需的高功率光源,并成为阿斯麦的供应商。四年后,Cymer公司以25亿美元的价格被阿斯麦收购,这一举动进一步巩固了阿斯麦在光刻机核心部件领域的领先地位。
时至今日,阿斯麦仍然与美国保持深度合作。一位在阿斯麦的美国分公司工作了4年多的在职员工对「甲子光年」表示,他所在的硅谷分部约有1000人,员工主要来自中国大陆、中国台湾、印度和荷兰。该分部较侧重半导体质量检测的业务,平时和荷兰互动紧密,例如一些R&D项目需要荷兰提供数据或已有的解决方案,荷兰方面也需要美国的产品应用。
“荷兰作为一个欧盟成员国,它更看重好好做生意,把科技产品卖出去。阿斯麦对于荷兰人来说也是非常重要的企业。但对于美国来说,它也有一些(像Cymer这样的)技术在阿斯麦的机器里,甚至可以说美国在机器里占30%,所以这个机器就不只是荷兰人的。我感觉阿斯麦也必须要听取美国的意见,它夹在中间确实有一点尴尬,” 上述阿斯麦员工表示。
“没有那些在美国制造的关键机器部件和美国技术,阿斯麦根本无法运作,归根结底,美国人拥有所有的控制权,更何况阿斯麦十大股东本来也都和美国方面有关,” 雷吉梅克补充道。
在阿斯麦官网上,它只点明了两大核心股东:分别是美国资本研究管理公司,即全球最大基金之一资本集团(Capital Group)的子公司,以及同样来自美国的贝莱德集团。
阿斯麦的主要股东,图片来源:阿斯麦
4.半导体过渡期
半导体行业的发展,不仅关乎科技进步,更关系到全球经济的脉动。随着数字化转型的加速,芯片已成为现代社会的基石,从智能手机到汽车,从数据中心到工业自动化,无不依赖于半导体技术的进步。
伴随着全球芯片行业的快速增长,阿斯麦的股价在过去5年里已经上涨了近350%,市值提升至约3500亿美元。即使芯片行业经历了两次周期性低迷和新冠疫情,其收入仍以20%的复合年增长率持续增长。
但在出口管制的阴影下,阿斯麦还有机会像英伟达一样,蜕变为一家市值万亿美元的企业吗?
阿斯麦过去十年的营收,图片来源:statistica
4月18日,阿斯麦在公布第一季度业绩后,其股价周三下跌了6.4%。净预订量(包括客户下达但尚未交付的订单)从第四季度的 92 亿欧元降至第一季度的36亿欧元。低于分析师预测的50亿欧元。该公司第一季度售出的全新光刻系统和二手光刻系统分别为66台和4台,相比上一季度的113台和11台明显下滑。
但阿斯麦将2024年描述为“过渡”期,在此期间该公司将继续投资技术并增加产能。
张彬磊表示,目前全球半导体设备市场的扩张速度没有前两年快,欧美市场,日韩市场等采购阿斯麦设备的金额都在下降。去年后两个季度优异的财报表现离不开中国市场的集中交付。当国内的订单回复正常速度,欧美市场还没有复苏时,这个季度的财报就会展现下滑态势,当前的趋势还要持续到今年第二、第三季度。
据报道,阿斯麦正考虑通过海外扩张在未来几年内大幅提高产能。到2025年至2026年,阿斯麦或将其制造能力扩大到每年600台DUV光刻机和90台EUV光刻机,到2027-2028年,每年还将制造20台High NA(高数值孔径)EUV光刻系统。
范德博登博士强调,阿斯麦是一家高度国际化的公司,但它不是一家”半美国、半欧洲”的公司:“它由两家荷兰公司合作成立,牢牢扎根于荷兰。”
然而在复杂的政治水域中,以阿斯麦为代表,植根于国际合作的半导体产业,可能还会面临更大的风浪。
50岁的阿斯麦新CEO富凯去年对媒体表示:“人们迟早会认识到,在半导体领域取得成功的唯一途径是通过合作。”
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