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本案例介绍利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化,通过优化扩散器以生成一个圆形的top hat。
关键词:衍射光学,衍射光学元件,均匀(homogenization),扩散器,准分子激光,部分相干
所需工具箱:Starter Toolbox Premium
相关Tutorials:HSL.1, DO.2
建模任务
衍射扩散传输器 目标平面
2021-9-7 08:52 上传 下载附件 (14 KB)
强度分布
2021-9-7 08:52 上传 下载附件 (11.93 KB)
照射光束参数
·光源面尺寸:100×100um
·发散角(HWHM):0.89×0.89°
·空间相干长度:3×3 um
·波长:351nm
衍射发散器
2021-9-7 08:53 上传 下载附件 (20.14 KB)
·取样间隔:5um
·尺寸:640×640um
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