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发表于 2021-9-7 08:53:37 |只看该作者 |倒序浏览

本案例介绍利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化,通过优化扩散器以生成一个圆形的top hat

关键词:衍射光学,衍射光学元件,均匀(homogenization),扩散器,准分子激光,部分相干

所需工具箱:Starter Toolbox Premium

相关Tutorials:HSL.1, DO.2

建模任务

衍射扩散传输器                          目标平面

11.JPG

强度分布

22.JPG

照射光束参数

·光源面尺寸:100×100um

·发散角(HWHM):0.89×0.89°

·空间相干长度:3×3 um

·波长:351nm


衍射发散器

33.JPG

·取样间隔:5um

·尺寸:640×640um


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