利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化

lanseyouyu1976

本案例介绍利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化，通过优化扩散器以生成一个圆形的top hat。

关键词：衍射光学，衍射光学元件，均匀（homogenization），扩散器，准分子激光，部分相干

所需工具箱：Starter Toolbox Premium

相关Tutorials：HSL.1, DO.2

建模任务

衍射扩散传输器                          目标平面

强度分布

照射光束参数

·光源面尺寸：100×100um

·发散角（HWHM）：0.89×0.89°

·空间相干长度：3×3 um

·波长：351nm

衍射发散器

·取样间隔：5um

·尺寸：640×640um