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标题: 能生产3nm！中科院成功研发全固态DUV光源技术：完全不同于ASML [查看完整版帖子] [打印本页]

时间: 2025-3-25 13:09

作者: 无聊小北 标题: 能生产3nm！中科院成功研发全固态DUV光源技术：完全不同于ASML

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据悉，中国科学院成功研发除了突破性的固态DUV(深紫外)激光，可发射193nm的相干光，与目前主流的DUV曝光波长一致，能将半导体工艺推进至3nm。

据悉，ASML、佳能、尼康的DUV光刻机都采用了氟化氙(ArF)准分子激光技术，通过氩、氟气体混合物在高压电场下生成不稳定分子，释放出193nm波长的光子，然后以高能量的短脉冲形式发射，输出功率100-120W，频率8k-9kHz，再通过光学系统调整，用于光刻设备。

中科院的固态DUV激光技术完全基于固态设计，由自制的Yb:YAG晶体放大器生成1030nm的激光，在通过两条不同的光学路径进行波长转换。

一路采用四次谐波转换(FHG)，将1030nm激光转换为258nm，输出功率1.2W。

另路径采用光学参数放大(OPA)，将1030nm激光转换为1553nm，输出功率700mW。

之后，转换后的两路激光通过串级硼酸锂(LBO)晶体混合，生成193nm波长的激光光束。

最终获得的激光平均功率为70mW，频率为6kHz，线宽低于880MHz，半峰全宽(FWHM)小于0.11pm(皮米，千分之一纳米)，光谱纯度与现有商用准分子激光系统相当。

基于此，甚至可用于3nm的工艺节点。

这种设计可以大幅降低光刻系统的复杂度、体积，减少对于稀有气体的依赖，并大大降低能耗。

相关技术已经在国际光电工程学会(SPIE)的官网上公布。

不过相信大家也看出来了，这种全固态DUV光源技术虽然在光谱纯度上已经和商用标准相差无几，但是输出功率、频率都还低得多。

对比ASML的技术，频率赢达到了约2/3，但输出功率只有0.7％的水平，因此仍然需要继续迭代、提升才能落地。

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时间: 2025-3-25 13:25

作者: wubest

中科院这帮人，在电子科技上，半句话都不能信，过去30年搞出啥了。。就是一直告诉国家我们落后，我们缺钱，各个肥头大耳

时间: 2025-3-25 14:12

作者: cnqq9999

听听就好

时间: 2025-3-25 14:32

作者: siegfried2000

实验室技术和商用完全是两回事...
实验室技术又不用考虑生产成本和效率的，
固态电池都出现多少年了，
到现实商用呢...

时间: 2025-3-25 16:51

作者: Vladimir_lenin

互联网上好消息少么？

时间: 2025-3-25 17:05

作者: master123

输出功率太低了

时间: 2025-3-25 17:13

作者: axuan

上新闻联播了么

时间: 2025-3-25 18:34

作者: 不吹不黑

哇塞，继续改进

时间: 2025-3-25 19:04

作者: 大唐大野虎

功率太低，mw级的，起码几瓦到几十瓦才能用于DUV光刻机。当然，如果体积放大，能量输出能够等比例放大，那就是突破。

时间: 2025-3-25 19:19

作者: wjhqr

提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

时间: 2025-3-25 20:51

作者: 大唐大野虎

wjhqr 发表于 2025-3-25 19:19
突破个蛋，这标题第一眼看到觉得有1%可信度的都是之商欠费的

真的假的，看看美帝有没有跳脚咒骂就可以，粪粪们相信丫美爹，过几个月丫美爹乱吼“不按规则做事”，就是真的。

时间: 2025-3-25 20:56

作者: shuijiao

没事不论真假美帝先慌了

时间: 2025-3-25 20:58

作者: 大唐大野虎

本帖最后由大唐大野虎于 2025-3-26 10:03 编辑

shuijiao 发表于 2025-3-25 20:56
没事不论真假美帝先慌了

美帝过段时间还一直没慌，说明就是中科院那堆肥头大耳的学术蠹又在吹牛逼

时间: 2025-3-25 21:38

作者: axuan

其实nm尺度的叉指电极配合内存技术电子皮肤就能出来机器人感知就有大飞跃

时间: 2025-3-25 21:55

作者: hwwdx

世界上第一架飞机不过飞出去37米，停空12秒……有空冷嘲热讽不如多点耐心鼓励，别人做出的指标不行现在还不能用，但好歹有想法做出来了，你呢，你做出了什么？你有什么资格嘲笑他们？

时间: 2025-3-26 08:22

作者: 戈壁泥马

hwwdx 发表于 2025-3-25 21:55
世界上第一架飞机不过飞出去37米，停空12秒……有空冷嘲热讽不如多点耐心鼓励，别人做出的指标不行现在还不 ...

键盘侠，恨国党哪管这些，他们骂就完了

时间: 2025-3-26 09:57

作者: laozhu

继续努力

时间: 2025-3-26 10:08

作者: Vladimir_lenin

hwwdx 发表于 2025-3-25 21:55
世界上第一架飞机不过飞出去37米，停空12秒……有空冷嘲热讽不如多点耐心鼓励，别人做出的指标不行现在还不 ...

好比喻··· 这东西有脸和第一架飞机比意义？

时间: 2025-3-26 12:08

作者: 114_starlight

时间: 2025-3-26 12:33

作者: hwwdx

Vladimir_lenin 发表于 2025-3-26 10:08
好比喻··· 这东西有脸和第一架飞机比意义？

别人配不配不知道，你这蛙百分之一亿不配。

时间: 2025-3-26 13:47

作者: axuan

动不动就盘古哄蒙这算什么牛顿都要靠边站爱因斯坦都得过来点烟

时间: 2025-3-26 13:54

作者: wuzhi3985627

战略性忽悠

时间: 2025-3-26 16:34

作者: coffee198375

值得鼓励。。。。

时间: 2025-3-27 06:34

作者: undebug25

Vladimir_lenin 发表于 2025-3-26 10:08
好比喻··· 这东西有脸和第一架飞机比意义？

那换个比喻，你刚被生出来的时候别人家的小孩已经打酱油了，那你对你们家的意义是什么？要不要拿你和那个会打酱油的小孩去比意义呢？

时间: 2025-3-27 06:53

作者: InfoSVC

这帮人，真是很难骗到了
算了，还是忽悠点经费吧

时间: 2025-3-27 08:22

作者: lesgo

为了完成发论文数量罢了，能不能应用谁在乎呢。

时间: 2025-3-27 08:44

作者: zzandss

不能商用化的创新

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