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标题: 日本尼康宣布全新ArF浸没式光刻机：精度小于2.1纳米、价格便宜30％ [查看完整版帖子] [打印本页]

时间: 2023-12-11 10:27

作者: 无聊小北 标题: 日本尼康宣布全新ArF浸没式光刻机：精度小于2.1纳米、价格便宜30％

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尼康宣布，将于2024年1月正式推出ArF 193纳米浸没式光刻机“NSR-S636E”，生产效率、套刻精度都会有进一步提升。

据悉，尼康这款曝光机采用增强型iAS设计，可用于高精度测量、圆翘曲和畸变校正，重叠精度(MMO)更高，号称不超过2.1纳米。

分辨率小于38纳米，镜头孔径1.35，曝光面积为26x33毫米。

对比当前型号，它的整体生产效率可提高10-15％，创下尼康光刻设备的新高，每小时可生产280片晶圆，停机时间也更短。

尼康还表示，在不牺牲生产效率的前提下，新光刻机可在需要高重叠精度的半导体制造中提供更高的性能，尤其是先进逻辑和內存、CMOS图像传感器、3D闪存等3D半导体制造，堪称最佳解决方案。

另据了解，新光刻机的光源技术是20世纪90年代就已经成熟的“i-line”，再加上相关零件、技术的成熟化，价格将比竞品便宜20-30％左右。

不过，目前尚不清楚尼康这款光刻机能制造多少纳米的芯片。

日本尼康、佳能与荷兰阿斯麦(ASML)曾经是光刻机三巨头，但因为点错了科技树，没有跟上阿斯麦的193纳米浸没式光刻技术，逐渐没落，尤其是在EUV极紫外光刻技术上毫无建树。

为了生存，尼康、佳能基本放弃了对尖端光刻技术的角逐，更专注于难度更低、价格更低的成熟工艺光刻设备。

但他们也并非一无是处，比如佳能研发了纳米压印技术(NIL)，无需EUV就能制造5纳米芯片。

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时间: 2023-12-11 11:05

作者: scnc001

不明觉厉，也给中国的半导体行业一点启示

时间: 2023-12-11 11:19

作者: 清闲一时

时间: 2023-12-11 11:26

作者: j7889

牛

时间: 2023-12-11 11:34

作者: oxy_hazard

我们大力搞光刻机还是有好处的，老外自己就开始卷起来了......

时间: 2023-12-11 13:14

作者: asdfasdfa

自媒体看看就好了，半导体设备，如果台积电三星不用的话，基本就可以定义为垃圾了

时间: 2023-12-11 14:52

作者: szlanjack

低调点，小心又被美国人收割掉，最好偷偷摸摸的和中国国内厂商合作，可以参考海光模式。

时间: 2023-12-11 16:31

作者: 会飞的水晶头

说说价格，我整一套

时间: 2023-12-11 16:36

作者: l574607611

对国内市场有没有帮助？

时间: 2023-12-11 17:03

作者: decoo

正常出来后对中国禁售

时间: 2023-12-11 17:38

作者: szlanjack

decoo 发表于 2023-12-11 17:03
正常出来后对中国禁售

这就是日本的智商低的原因，三星台积电不会卖他的，出来就是个死，白瞎了这么好的技术。学习学习当年AMD的做法，和海光成立合资公司，搞了几个亿美金，也没见老妹制裁AMD啊。小日本就不会来这一套，变个现，免得烂土里了。

时间: 2023-12-11 17:48

作者: asdfasdfa

szlanjack 发表于 2023-12-11 14:52
低调点，小心又被美国人收割掉，最好偷偷摸摸的和中国国内厂商合作，可以参考海光模式。

笑死了，天真到啥地步，真以为半导体设备能绕过美帝。
海光也是美帝点过头才有的，amd的投名状。

时间: 2023-12-11 18:03

作者: axuan

重要的不是机器

时间: 2023-12-12 08:20

作者: lesgo

szlanjack 发表于 2023-12-11 14:52
低调点，小心又被美国人收割掉，最好偷偷摸摸的和中国国内厂商合作，可以参考海光模式。

这个精度量产的化要精度仙人手工对齐。

时间: 2023-12-12 09:13

作者: szlanjack

asdfasdfa 发表于 2023-12-11 17:48
笑死了，天真到啥地步，真以为半导体设备能绕过美帝。
海光也是美帝点过头才有的，amd的投名状。

你都笑死过好多回了，不要以为美国的狗全都和美国一条心，随着主人迟暮，狗也会想着要生存，找下家。

时间: 2023-12-12 09:56

作者: seastar0437

szlanjack 发表于 2023-12-11 17:38
这就是日本的智商低的原因，三星台积电不会卖他的，出来就是个死，白瞎了这么好的技术。学习学习当年AMD的 ...

他不是不懂，是死磕不愿意帮助我们发展；

时间: 2023-12-12 09:59

作者: asdfasdfa

szlanjack 发表于 2023-12-12 09:13
你都笑死过好多回了，不要以为美国的狗全都和美国一条心，随着主人迟暮，狗也会想着要生存，找下家。

蠢成啥样才会用自己的臆想指点江山

时间: 2023-12-12 10:00

作者: szlanjack

asdfasdfa 发表于 2023-12-12 09:59
蠢成啥样才会用自己的臆想指点江山

就尼玛讨论一下，就被你理解成指点江山了，蠢字最适合描述你这类人。我要真指点江山，首先就要把你们这种**清理掉。

时间: 2023-12-12 10:02

作者: szlanjack

本帖最后由 szlanjack 于 2023-12-12 11:59 编辑

asdfasdfa 发表于 2023-12-12 09:59
蠢成啥样才会用自己的臆想指点江山

像你这种灵魂和躯壳分开的人，是怎么熬着活到现在的？都不敢去面对现实。

时间: 2023-12-12 14:25

作者: tongtongyingyin

不明觉厉，顶一个再说....

时间: 2023-12-12 20:51

作者: shuijiao

日本人几乎年年拿诺贝尔物理化学奖。。。

时间: 2023-12-13 00:37

作者: coffee198375

asdfasdfa 发表于 2023-12-11 17:48
笑死了，天真到啥地步，真以为半导体设备能绕过美帝。
海光也是美帝点过头才有的，amd的投名状。

还真有。。。。

时间: 2023-12-13 00:37

作者: coffee198375

szlanjack 发表于 2023-12-12 10:02
像你这种灵魂和躯壳分开的人，是怎么熬着活到现在的？都不敢去面对现实。

你怎么知道他一定是“人”。。。。

时间: 2023-12-13 00:39

作者: coffee198375

szlanjack 发表于 2023-12-11 17:38
这就是日本的智商低的原因，三星台积电不会卖他的，出来就是个死，白瞎了这么好的技术。学习学习当年AMD的 ...

洋人从来不会铁板一块，为了利益互相拆台才是常态。。。。

时间: 2023-12-13 00:39

作者: coffee198375

米帝窝里斗？。。。

时间: 2023-12-13 08:02

作者: lesgo

szlanjack 发表于 2023-12-11 17:38
这就是日本的智商低的原因，三星台积电不会卖他的，出来就是个死，白瞎了这么好的技术。学习学习当年AMD的 ...

这技术还有很多缺陷，产量也低，不看好前景

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