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标题: 华为公开一项光刻机专利  [查看完整版帖子] [打印本页]

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时间:  2022-11-19 20:19

作者: youyouran     标题: 华为公开一项光刻机专利

在半导体行业，极紫外光刻技术对于未来光刻技术乃至于先进制程有着重要意义。
随着先进制程的进一步推进，全球半导体制造龙头台积电、三星、英特尔纷纷扩大EUV光刻机资本开支，积极扩充7nm以下先进产能。

与此同时，各大芯片设计公司，例如大家熟知的高通、英伟达、博通、联发科、AMD、苹果、海思等，都在加码先进芯片领域的资本支出。大家不妨认为，掌握EUV技术，就是掌握未来半导体先进制程的发展方向和制高点。

在这种前提下，各大芯片设计公司其实也会进行系统地研究，也会有不同程度地涉猎光刻领域。但实际上，各大公司也会在这一过程中遇到各种各样的问题，但也同样会因此积累到一些经验和专利。

　　 华为周二公布了一项新专利，展示了一种《反射镜、光刻装置及其控制方法》，而这种方法便能够解决相干光因形成固定的干涉图样而无法匀光的问题，在极紫外光的光刻装置基础上进行了优化，进而达到匀光的目的。
　　专利名称：反射镜、光刻装置及其控制方法
　　专利申请号：CN202110524685.X
　　该专利提供一种光刻装置，该光刻装置通过不断改变相干光形成的干涉图样，使得照明视场在曝光时间内的累积光强均匀化，从而达到匀光的目的，进而也就解决了相关技术中因相干光形成固定的干涉图样而无法匀光的问题。
　　该光刻装置包括相干光源1、反射镜2(也可以称为去相干镜)、照明系统3。其中，反射镜2可以进行旋转；例如，可以在光刻装置中设置旋转装置，反射镜2能够在旋转装置的带动下发生旋转。在该光刻装置中，相干光源1发出的光线经旋转的反射镜2的反射后，通过照明系统3分割为多个子光束并投射至掩膜版4上，以进行光刻。
　　在光刻装置中，上述照明系统3作为重要组成部分，其主要作用是提供高均匀性照明(匀光)、控制曝光剂量和实现离轴照明等，以提高光刻分辨率和增大焦深。
　　照明系统3的匀光功能可以是通过科勒照明结构实现的。
　　该照明系统3包括视场复眼镜31(field flyeye mirror，FFM)、光阑复眼镜32(diaphragm flyeye mirror，PFM)、中继镜组33；其中，中继镜组33通常可以包括两个或者两个以上的中继镜。照明系统3通过视场复眼镜31将来自相干光源1的光束分割成多个子光束，每个子光束再经光阑复眼镜32进行照射方向和视场形状的调整，并通过中继镜组33进行视场大小和/或形状调整后，投射到掩膜版4的照明区域。
　　通过在相干光源1与照明系统3之间的光路上设置反射镜2，在此情况下，相干光源1发出的光线经旋转的反射镜2反射后相位不断发生变化，这样一来，在经反射镜2反射后的光线通过照明系统3分割为多个子光束并投射至掩膜版4上时，形成在掩膜版4的照明区域的干涉图样不断变化，从而使得照明视场在曝光时间内的累积光强均匀化，从而达到匀光的目的，进而也就解决了相关技术中因相干光形成固定的干涉图样而无法匀光的问题。

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时间:  2022-11-19 20:44

作者: 奇人无名

不错   

附件: 166886184688818.jpeg (2022-11-19 20:44, 38.09 KB) / 下载次数 2
https://www.txrjy.com/forum.php?mod=attachment&aid=NTUzODIwfGNlYzk3NzQwfDE3MzI1MDYzNzh8MHww

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时间:  2022-11-19 20:50

作者: axuan

对嘛 发布这样的消息才有意义 毕竟几个集装箱的设备 也必须一点点的啃过来

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时间:  2022-11-19 21:25

作者: Vortex

建议申请英语专利

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时间:  2022-11-19 22:03

作者: wqfreebird

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时间:  2022-11-20 00:22

作者: shuijiao

看样子 用不到3年 华为3nm 自己搞出来

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时间:  2022-11-20 06:06

作者: undebug25

Vortex 发表于 2022-11-19 21:25
建议申请英语专利

好像发个英文你能看得懂似的

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时间:  2022-11-20 06:16

作者: SOHU2021

要自己去做光刻机制造研究 才写的出这种专利吧  看来14nm破局指日可待

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时间:  2022-11-20 14:35

作者: fei4977

不要停

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时间:  2022-11-20 15:39

作者: tek2

SOHU2021 发表于 2022-11-20 06:16
要自己去做光刻机制造研究 才写的出这种专利吧  看来14nm破局指日可待

这是euv光刻机的专利，euv是用来做7 5 3
nm

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时间:  2022-11-20 15:47

作者: homecat123

还剩10万7999里~~

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时间:  2022-11-21 10:43

作者: 雪超超超

华为的效率是欧美的好几倍，进度比想象的还快

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时间:  2022-11-21 10:45

作者: t710442205

沸腾

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时间:  2022-11-21 10:52

作者: szlanjack

慢慢来，量变到质变，总有一天会突破的，加油。

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时间:  2022-11-21 11:00

作者: 焉又走

有了光刻机 还需要原料和各种辅料。这个到时候也有可能被卡吧？

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时间:  2022-11-21 11:14

作者: youyouran

焉又走 发表于 2022-11-21 11:00:58 有了光刻机 还需要原料和各种辅料。这个到时候也有可能被卡吧？

华为不是做光刻机的专业厂商。光刻机需要全行业之力，ASML基本就是整个欧美技术精华的集合

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时间:  2022-11-21 11:36

作者: 云中云

提示: 作者被禁止或删除 内容自动屏蔽

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时间:  2022-11-21 14:37

作者: sokchen

挫败老美阴阳谋，还得看我中华有为。

中华有为，大国崛起，我沸腾了！！！

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时间:  2022-11-21 14:53

作者: hy1234

奇人无名 发表于 2022-11-19 20:44
不错

不招人忌是庸才。不如你们检讨一下。

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时间:  2022-11-21 14:55

作者: hy1234

云中云 发表于 2022-11-21 11:36
但是华为可以牵头研发，或者可以在上微项目外做第二套光刻体系，上微的资源可以同步复制给华为，如果早开 ...

要找出新的增长点，而且搞光芯片生产，投入太大了。单靠菊花一家，根本就做不到。

最近看国内的28nm光刻胶，18年立项，今年还不能够量产。现在还要靠小日本供货。

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时间:  2022-11-21 14:57

作者: hy1234

焉又走 发表于 2022-11-21 11:00
有了光刻机 还需要原料和各种辅料。这个到时候也有可能被卡吧？

是啊，还有光刻胶，和很多化学材料。不过还是那一句话，就是一步一脚印，只要每天都有进步，有一天就会完成任务。

不过就是因为老美自己让出市场，大陆才有可能完善自己的供应链。

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时间:  2022-11-21 15:19

作者: 家园小奴工

一步一个脚印做事情值得推崇。  旁边吃瓜吃柠檬的也没啥，本来也不是做事情的人。

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时间:  2022-11-21 15:26

作者: coffee198375

行业楷模。。。。

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时间:  2022-11-21 15:38

作者: SOHU2021

云中云 发表于 2022-11-21 11:36
但是华为可以牵头研发，或者可以在上微项目外做第二套光刻体系，上微的资源可以同步复制给华为，如果早开 ...

上微凭啥要把资源复制给华为

华为愿意把海思的资源复制给上微吗 复制给中兴吗 复制给展锐吗  

脸皮这么怎么厚哩 挖人也就算了

你光刻机啥底子都没的 凭啥来牵头研发 其他企业为啥要听你的  让上微牵头还更靠谱些

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时间:  2022-11-21 16:03

作者: a666666

华为公开一项光刻机专利，敢于超越只是时间的问题

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时间:  2022-11-21 17:29

作者: axuan

稍微肯定一下就可以 不要搞恶心了

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时间:  2022-11-21 17:36

作者: lizzcat

a666666 发表于 2022-11-21 16:03
华为公开一项光刻机专利，敢于超越只是时间的问题

一项……之前看新闻说光刻机有10万个零件

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时间:  2022-11-21 17:40

作者: youyouran

家园小奴工 发表于 2022-11-21 15:19
一步一个脚印做事情值得推崇。  旁边吃瓜吃柠檬的也没啥，本来也不是做事情的人。

你这个ID……是怎么想的

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时间:  2022-11-21 17:55

作者: 云中云

提示: 作者被禁止或删除 内容自动屏蔽

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时间:  2022-11-21 22:50

作者: ahai0536

明天华为就制造出来1nm芯片了··
全体沸腾···

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时间:  2022-11-22 07:53

作者: lszjyj

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时间:  2022-11-22 14:02

作者: lanego

华为给力，加油！
其他公司好好学习吧

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时间:  2022-11-22 17:32

作者: 为别人打工的人

又看了一次

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时间:  2022-11-22 17:34

作者: youyouran

ahai0536 发表于 2022-11-21 22:50
明天华为就制造出来1nm芯片了··
全体沸腾···

别人还没沸腾，你倒是激动了

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时间:  2022-11-23 06:58

作者: BigBel

ahai0536 发表于 2022-11-21 22:50
明天华为就制造出来1nm芯片了··
全体沸腾···

哈哈！让子弹飞一会，看专利没用，要看做出的产品，写过专利的都知道，专利是可以坐在桌子前当小说来写的，专利还有个别名叫“圈地盘”。

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时间:  2022-11-23 09:33

作者: saintinlove85

Vortex 发表于 2022-11-19 21:25
建议申请英语专利

你咋知道人家没申请英文专利

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时间:  2022-11-23 16:24

作者: flashship

加油干，不要被杂音干扰，这种废物哪哪儿都有，但是不影响历史潮流

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时间:  2022-11-23 20:34

作者: homecat123

云中云 发表于 2022-11-21 11:36
但是华为可以牵头研发，或者可以在上微项目外做第二套光刻体系，上微的资源可以同步复制给华为，如果早开 ...

1.不同的公司不存在牵头，我辛辛苦苦做出来的东西，凭什么给你~，2.HW擅长的还是内卷，如何让打工仔流血流汗，而不是创新。

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时间:  2022-11-24 11:53

作者: ospf666

沸腾吧，。。。

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时间:  2022-11-24 16:16

作者: youyouran

homecat123 发表于 2022-11-23 20:34
1.不同的公司不存在牵头，我辛辛苦苦做出来的东西，凭什么给你~，2.HW擅长的还是内卷，如何让打工仔流血流 ...

欧美很多重大科技创新项目都是这种平台化运作的，很成功。典型的就是ASML。日本也搞过，联合搞来美国的光纤技术，研发成功了共享，当然，这种企业间组织很难，靠国家或者跨国家的力量

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时间:  2022-11-24 21:57

作者: latt99

homecat123 发表于 2022-11-23 20:34
1.不同的公司不存在牵头，我辛辛苦苦做出来的东西，凭什么给你~，2.HW擅长的还是内卷，如何让打工仔流血流 ...

欧洲的狂风战斗机就是多国企业联合研制出来的，后来又把经验用到了台风战斗机上，也是多国联合研制。
如果华为没有创新，别人凭什么要给华为的专利交钱？华为每年的专利许可收入超过10亿美元。

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时间:  2023-10-20 10:34

作者: qsdys

现在再看这个帖子很有意思了，不知道当时跳脚的现在还怎么跳？

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时间:  2023-10-20 17:39

作者: aindyhz

这种专利，看着就靠谱

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时间:  2023-10-20 17:59

作者: 清河人

我是来看打黑子脸的

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时间:  2023-10-21 00:29

作者: SOHU2021

为啥这些专利都不是以 鹏芯微的名义去申请呢？ 既然号称鹏芯微在搞光刻机和芯片制造

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时间:  2023-10-21 11:11

作者: youyouran

qsdys 发表于 2023-10-20 10:34
现在再看这个帖子很有意思了，不知道当时跳脚的现在还怎么跳？

你永远叫不醒一个装睡的人

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时间:  2023-10-21 11:13

作者: undebug25

youyouran 发表于 2023-10-21 11:11
你永远叫不醒一个装睡的人

所以要反省
为啥要去叫醒那个装睡的人呢
费那劲干啥

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时间:  2023-10-21 13:34

作者: 天涯明月话

undebug25 发表于 2022-11-20 06:06
好像发个英文你能看得懂似的

华为认为专利有价值肯定会在欧美发表的！

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