通信人家园

标题: TRCX：掺杂过程分析 [查看完整版帖子] [打印本页]

时间: 2021-12-30 09:20

作者: lanseyouyu1976 标题: TRCX：掺杂过程分析

在 LTPS 制造过程中，使用自对准掩模通过离子注入来金属化有源层。当通过 TRCX 计算电容时，应用与实际工艺相同的原理。工程师可以根据真实的 3D 结构提取准确的电容，并分析有源层离子注入前后的电位分布，如下图所示。

(a)FIB

(b) 掺杂前后对比

附件: 1.jpg (2021-12-30 09:19, 19.58 KB) / 下载次数 0
https://www.txrjy.com/forum.php?mod=attachment&aid=NTExOTQyfDlhZmE2ODNmfDE3MzI1MDc4MDh8MHww

附件: 2.jpg (2021-12-30 09:19, 30.2 KB) / 下载次数 0
https://www.txrjy.com/forum.php?mod=attachment&aid=NTExOTQzfDkzZDE3MTQ3fDE3MzI1MDc4MDh8MHww

通信人家园 (https://www.txrjy.com/)