图1.通过大角度衍射分束元件产生的斑点图案。全视场70°。衍射光学元件的特征尺寸小到450nm。
VirtualLab 为用户提供了功能强大且用户界面友好的工具用于大角度衍射光学元件的设计，其功能涵盖了从系统设计到加工数据的输出的整个设计过程：
■ 功能强大的设计算法：迭代傅里叶变换算法和参数优化；
■ 失真和辐照度损失的预补偿（见图2）；
■ 以多种格式导出加工数据，如STL和GDSII。
了解更多信息？请通过tech@infocrops.com联系我们或者利用试用版VirtualLab使用我们提供的示例开始您的实验工作：
■ 示例.385: 高数值孔径模型扩散器的优化 。
■ 示例.386: 高数值孔径衍射分束器的设计 。
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图2.a) 通过标准设计生成大角度光图案后显示的典型枕形失真；b)利用VirtualLab Fusion在设计过程中可以补偿几何畸变。
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