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标题: 衍射光学器件（DOE）设计与加工承接 [查看完整版帖子] [打印本页]

时间: 2021-8-20 10:24

作者: lanseyouyu1976 标题: 衍射光学器件（DOE）设计与加工承接

衍射光学器件（DOE），又称二元光学元件，主要用于激光束的整形。通过DOE元件可以将一束激光整形成平顶光束，或者矩阵、栅格、线形、圆形、点阵等各种图案。DOE广泛用于激光加工、医疗、成像系统、传感器等领域。尤其是在结构光3D摄像头中，使用DOE将一束红外激光大角度整形成光斑点阵，用于人脸识别、深度感测等功能，市场前景广阔。

针对各类衍射和微纳光学器件，通过应用VirtualLab Fusion内置的迭代傅里叶变换算法（Iteration Fourier Transform Algorithm，IFTA）能够快速的实现各类衍射微纳光学器件的设计和优化，并进行公差分析（如对齐、加工高度以及倒角等），最后导出GDSII文件以用于DOE的加工。

目前，我们主要采用纳米压印技术加工DOE，可以提供从定制化设计、模具制造、工艺开发、批量生产的全套服务。公司拥有12寸生产线，可以实现纳米级、高深宽比、多阶等高难度DOE结构的定制加工。

基于VirtualLab Fusion所设计的DOE结构

基于纳米压印加工技术所加工出来的DOE结构

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