基于VirtualLab Fusion的周期化功能,可以快速的构建各种微透镜阵列,并使用局部平面界面近似(Local Plane Interface Approximation,LPIA)方法来对其进行物理光学分析,如像差以及衍射效应,从而更准确的评估微透镜阵列的性能,并导出IGES、STL等加工文件以进行加工。
目前,我们采用纳米压印技术加工微透镜阵列,可以在玻璃、PET/PC、硅、金属或集成电路晶圆等各种材料或器件表面制作微透镜阵列。微透镜的材质是高透光率、耐高温的聚合物,如环氧树脂或丙烯酸酯。
左图:VirtualLab Fusion设计的微透镜阵列 右图:加工的微透镜阵列结构