图1.基板足够厚时,无需考虑干涉效应。如果考虑基板的干涉,要将基板看成一层薄膜,而整个系统看作一个膜系
另一个问题是,如果角度或波长的变化仍然较大,即使设计中的层也显示出减少的干涉效应,那么会发生什么,什么叫做部分相干?此工具存在于Stack文档中。计算参数包括光中缺少准直性(以圆锥半角表示)和缺少单色性(以光谱带宽表示)的影响。这些在Design文档中不可用(除非在Stack中设置,稍后将介绍)。
Stack中的第一列是标题为Medium Type,这里有两种选择:Parallel以及Wedge。透射或反射的光将由某种接收器收集,这种接收器在计算中假定为均匀灵敏度。此接收器可能无法收集在不同表面之间来回反射后最终出现的所有光束。两种极端情况是收集所有光束,以便没有丢失,这种情况称为Parallel。 另一个极端是它只收集从离它最近的表面反射一次的光束,这种情况被称为Wedged。假设所有其他反射光束走出系统,在传输中,那么Wedge不收集反射光束。如果我们有成像系统,Wedge计算代表形成的像,而Parallel计算代表所有可能的光。因此,它们之间的差异是杂散光。